在幾十年發(fā)展歷程中，集成電路的飛速發(fā)展推動(dòng)社會(huì)現(xiàn)代化程度跨越式提升，深刻影響了現(xiàn)代人類的思維方式和生活習(xí)慣。電子計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展加速人類社會(huì)進(jìn)入信息化時(shí)代，集成電路科學(xué)一定程度上成了人類科技大發(fā)展的基礎(chǔ)。
隨著5G、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、自動(dòng)駕駛等新興技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化加速，芯片需求量隨之激增。半導(dǎo)體質(zhì)量控制貫穿集成電路制造全過程，保證芯片性能與生產(chǎn)良率。隨著先進(jìn)制程和復(fù)雜工藝的使用，工藝環(huán)節(jié)不斷增加，行業(yè)發(fā)展對(duì)工藝控制水平提出了更高的要求，制造過程中量測(cè)設(shè)備與檢測(cè)設(shè)備的需求量倍增。
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從細(xì)微之基 做崇高之業(yè)
微崇于2021年3月成立，是由領(lǐng)先的海歸半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)團(tuán)隊(duì)發(fā)起，與中國(guó)資深工程師和科學(xué)家團(tuán)隊(duì)共同建立一個(gè)，立足于非線性光學(xué)晶圓檢測(cè)技術(shù)的世界先進(jìn)半導(dǎo)體公司。微崇致力于研發(fā)最先進(jìn)的半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)，生產(chǎn)先進(jìn)的半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備。
行業(yè)介紹
Industry
Introduction
微崇產(chǎn)品
Aspiring Product
ASPIPER 3000
非線性光學(xué)晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)
ASPIRER 3000非線性光學(xué)晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)可以提供晶圓級(jí)別的缺陷檢測(cè)，對(duì)界面及膜層質(zhì)量進(jìn)行綜合測(cè)試分析，提升各類制程的良率。獨(dú)有的非線性光學(xué)技術(shù)配合自主研發(fā)的檢測(cè)系統(tǒng)可提供超高的檢測(cè)靈敏度，并對(duì)有、無圖案晶圓均有良好的適用性。ASPIRER 3000機(jī)臺(tái)可滿足客戶在研發(fā)和量產(chǎn)中對(duì)晶圓質(zhì)量的快速、無損、精準(zhǔn)檢測(cè)需求。
- 產(chǎn)品特點(diǎn)
- 非接觸、無損傷
- 快速檢測(cè)
- 在線檢測(cè)
- 軟件操作便捷
- Wafer Map等多樣化表征手段
- 主要應(yīng)用
- 各類成膜工藝質(zhì)量的監(jiān)控
- 各類生產(chǎn)工藝機(jī)臺(tái)穩(wěn)定性的監(jiān)控
- 刻蝕等工藝對(duì)晶圓損傷的檢測(cè)與監(jiān)控
- 離子注入及退火工藝的質(zhì)量監(jiān)控
- 清洗等工藝質(zhì)量的監(jiān)控
BRAVERY 3000
光調(diào)制反射晶圓檢測(cè)系統(tǒng)
BRAVERY 3000 是具有巨大市場(chǎng)價(jià)值的新型晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備，其采用光調(diào)制反射技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的非接觸、無損傷、在線、快速、內(nèi)部檢測(cè)，精準(zhǔn)診斷與定位晶圓缺陷，該產(chǎn)品對(duì)有/無圖案晶圓均適用，可填補(bǔ)當(dāng)前國(guó)內(nèi)市場(chǎng)離子注入工藝非接觸檢測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化空白，實(shí)現(xiàn)晶圓注入質(zhì)量特性檢測(cè)量產(chǎn)化。
- 產(chǎn)品特點(diǎn)
- 非接觸非破壞性
- 有/無圖案晶圓皆適用
- 可作為在線檢測(cè)設(shè)備
- 無需測(cè)前與測(cè)后處理，超快檢測(cè)速度
- 軟件檢測(cè)操作簡(jiǎn)單
- 可自動(dòng)生成wafer map等可視化數(shù)據(jù)
- 主要應(yīng)用
- 各種離子注入及退火工藝的質(zhì)量監(jiān)控
- 刻蝕等工藝對(duì)晶圓損傷的質(zhì)量監(jiān)控
- 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
- 自研產(chǎn)品，可定制化
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